プロダクト
独自のデジタルホログラフィ測定技術を用いた精密形状測定装置を開発しています。
ラボ実験やオフライン品質管理から、インライン・インプロセス測定まで多様なニーズに対応する全く新しい測定ソリューションを提案致します。
スタンドアローン型
平坦度・厚み測定機
- 平面度・厚みを"大面積"×"ワンショット"×"ナノオーダー"で計測可能
- 結像レンズや参照基盤の使用に伴う原理的な精度限界を克服
- 非破壊・非接触・非浸食で測定可能
- フォーカス不要で高速測定を実現
基本スペック
- 測定方法
- デジタルホログラフィ方式
- 測定機能
- 平坦度（SORI/BOW/WARP）／
厚み（TTV/LTV）
※ ステージ寸法 220W×160D
※厚み測定は透明基板のみ対象、非吸着 - 分解能
- ・垂直：0.1nm~ ・水平：100μm~
- 測定精度-Accuracy
- ・平坦度：λ/20以下 ・厚み：15nm程度
※測定対象により変動、高精度化オプション有 - 繰り返し精度(1σ)-Repeatability
- ・平坦度：6nm程度 ・厚み：10nm程度
※想定対象により変動 - 測定範囲
- ～φ140mm※
※拡張オプション有、精度・測定時間は測定範囲に応じて変動 - 測定時間
- 撮像 100μ秒/枚＋解析 2~3 秒
- データポイント
- 約 1,600 万点
測定装置
- 本体寸法
- 450W×550D×1,000H
- ステージ寸法
- 220W×160D
- 重量
- 約20kg
- 光源
- 半導体レーザー（785nm）
- イメージセンサー
- CMOS カメラ（4,096×3,840 画素）
- 電源
- AC125V, 50/60Hz, 15A
付属機器（PC）
- 寸法
- 450W×550D×1,000H
- プロセッサ
- Core i9-13900（※クラウド GPU にて演算処理
- メモリ/ストレージ
- 32GB/SSD 1TB
- 電源
- AC125V, 50/60Hz, 15A
付属機器（ディスプレイ ）
- 型番
- Dell P2722H
お問い合わせ
製品、技術、採用等に関する
お問い合わせはこちら